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|NomStructureAlternatif=Institut Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique – Sciences et Technologies, UMR 6174 | |NomStructureAlternatif=Institut Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique – Sciences et Technologies, UMR 6174 | ||
|Url=https://www.femto-st.fr/fr | |Url=https://www.femto-st.fr/fr | ||
|Tutelle=CNRS, UFC, ENSMM, | |Tutelle=CNRS, UFC, SUPMICROTECH-ENSMM, Université de technologie de Belfort-Montbéliard | ||
|IDRNSR=200412232H | |IDRNSR=200412232H | ||
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