CMNF

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  CMNF
Type de service Plateforme d'acquisition
Statut En production
Autres noms Centrale de Micro Nano Fabrication, Plateforme Centrale de Micro Nano Fabrication
URL https://www.iemn.fr/les plateformes/cmnf
Contact bertrand.grimbert@univ-lille.fr
Localisation Villeneuve d'Ascq
Structure d'appartenance IEMN, RENATECH+
Tutelles CNRS, Université de Lille, UPHF, Centrale Lille, JUNIA ISEN


Cycle de vie des données

Ce service intervient au cours des stades du cycle de vie suivants :


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La plate-forme Centrale de Micro Nano Fabrication, CMNF, s’étend sur 1600m² de salle blanche certifiés ISO6 et 260m² supplémentaires dédiés au back-end. La centrale dispose d’une large palette d’équipements allant des basiques de l’industrie du semi-conducteur aux équipements de pointe en micro-nanofabrication. La salle blanche de l’IEMN constitue une plate-forme multidisciplinaire pour la fabrication de composants et systèmes avancés dans des domaines variés tels que les bioMEMs, la photonique ou l’acoustique.


La mission principale de la CMNF est d’être le support technologique des équipes de recherche de l’Institut. De plus, les projets extérieurs à l’IEMN peuvent être pris en charge via une cellule d’accueil projets grâce au réseau RENATECH (réseau national des grandes centrales en micro-nanofabrication) dont l’IEMN est membre actif. Dans le cadre de celui-ci, elle fait également partie du PEPR d’accélération pour l’électronique au côté des plateformes LAAS, Femto-ST, LTM et C2N.


Domaines scientifiques :Sciences & Technologies


PE3 Physique de la matière condensée; PE7 Ingénierie des systèmes et de la communication

Thématique et/ou mots clés :

  • Micros et nanotechnologies
  • Electronique III-V
  • Electronique souple
  • Nanocaractérisation
  • MEMS-NEMS

Type de données :

Communauté d'utilisateurs : Equipe de recherche de Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, IEMN; Projets extérieurs Usagers et bénéficiaires :Chercheurs


Conditions d'usage : La plupart des équipements de la centrale est accessible à tous les utilisateurs sur habilitation. Seuls certains équipements très sensibles sont en accès restreint, du fait d’un maniement complexe ou des risques associés.

Conditions tarifaires :

Certification/Label :

Conditions générales d'utilisation :



Services proposés par la structure d'appartenance
StructureServices proposés
IEMNCMNF
RENATECH+MIMENTO
LAAS-CNRS Centrale de Micro et Nanotechnologies
CMNF
PTA
C2N Centrale de Micro et Nanotechnologie