CMNF

CMNF
Type de service	Plateforme d'acquisition
Statut	En production
Autres noms	Centrale de Micro Nano Fabrication, Plate-forme Centrale de Micro Nano Fabrication
URL	https://www.iemn.fr/plates-formes/cmnf
Contact	bertrand.grimbert@univ-lille.fr
Localisation	Villeneuve d'Ascq
Structure d'appartenance	IEMN, RENATECH
Tutelles	CNRS, Université de Lille, UPHF, Centrale Lille, JUNIA ISEN

La plate-forme Centrale de Micro Nano Fabrication, CMNF, s’étend sur 1600m² de salle blanche certifiés ISO6 et 260m² supplémentaires dédiés au back-end. La centrale dispose d’une large palette d’équipements allant des basiques de l’industrie du semi-conducteur aux équipements de pointe en micro-nanofabrication. La salle blanche de l’IEMN constitue une plate-forme multidisciplinaire pour la fabrication de composants et systèmes avancés dans des domaines variés tels que les bioMEMs, la photonique ou l’acoustique. La mission principale de la CMNF est d’être le support technologique des équipes de recherche de l’Institut. De plus, les projets extérieurs à l’IEMN peuvent être pris en charge via une cellule d’accueil projets grâce au réseau RENATECH (réseau national des grandes centrales en micro-nanofabrication) dont l’IEMN est membre actif.

Domaines scientifiques :Sciences & Technologies

Physique de la matière condensée« Physique de la matière condensée » n’est pas dans la liste (PE1 Mathématiques, PE2 Constituants fondamentaux de la matière, PE3 Physique de la matière condensée, PE4 Chimie physique et analytique, PE5 Chimie de synthèse et matériaux, PE6 Sciences informatiques et informatique, PE7 Ingénierie des systèmes et de la communication, PE8 Ingénierie des produits et des procédés, PE9 Sciences de l'Univers, PE10 Sciences du Système Terre, ...) des valeurs autorisées pour la propriété « Est sous discipline de Sciences & Technologies ».

Thématique et/ou mots clés :

Micros et nanotechnologies
électronique III-V
électronique souple
Nanocaractérisation
MEMS-NEMS

Type de données :

Communauté d'utilisateurs : Equipe de recherche de Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, IEMN; Projets extérieurs Usagers et bénéficiaires :Chercheurs

Conditions d'usage : a plupart des équipements de la centrale est accessible à tous les utilisateurs sur habilitation. Seuls certains équipements très sensibles sont en accès restreint, du fait d’un maniement complexe ou des risques associés.

Conditions tarifaires :

Certification/Label :

Conditions générales d'utilisation :

Services proposés par la structure d'appartenance

Structure	Services proposés
IEMN	CMNF
RENATECH+	MIMENTO LAAS-CNRS Centrale de Micro et Nanotechnologies CMNF PTA C2N Centrale de Micro et Nanotechnologie