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|NomStructureAlternatif=Institut Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique – Sciences et Technologies, UMR 6174
|NomStructureAlternatif=Institut Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique – Sciences et Technologies, UMR 6174
|Url=https://www.femto-st.fr/fr
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|Tutelle=CNRS, UFC, ENSMM,UTBM
|Tutelle=CNRS, UFC, SUPMICROTECH-ENSMM, Université de technologie de Belfort-Montbéliard
|IDRNSR=200412232H
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