C2N Centrale de Micro et Nanotechnologie
Type de service | Plateforme d'acquisition |
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Statut | En production |
Autres noms | Centrale de Micro et Nanotechnologie du C2N |
URL | https://www.c2n.universite-paris-saclay.fr/fr/plateformes/centrale-technologie/ |
Contact | renatech@c2n.upsaclay.fr |
Localisation | Palaiseau |
Structure d'appartenance | C2N, RENATECH |
Tutelles | CNRS, Université Paris-Saclay |
Cycle de vie des données
Ce service intervient au cours des stades du cycle de vie suivants :
La Centrale de technologie du C2N est hébergée dans une salle blanche de 2 900 m², dédiée aux procédés de micro-nanofabrication, à la croissance, l'épitaxie et la caractérisation des matériaux. Elle fait partie du réseau RENATECH des grandes centrales de technologie piloté par le CNRS pour soutenir la recherche et l'innovation dans le domaine des micro-nanotechnologies au niveau national.
3 plateformes composent cette centrale :
- PIMENT : Plateforme d'Innovation en Micro Et Nano-Technologies. La plate-forme PIMENT propose un ensemble complet d'équipements à la pointe de la technologie et à hautes performances, permettant de développer des recherches allant de la physique quantique fondamentale aux dispositifs intégrés avancés ou aux micro-nanosystèmes.
- POEM : PlatefOrme d'Elaboration de Matériaux. La plateforme POEM héberge les équipements pour la croissance cristalline de films minces ou de nanostructures de semi-conducteurs IV et III-V, de matériaux bidimensionnels (2D) et d'oxydes fonctionnels. Les techniques mises en œuvre sont l'épitaxie par jets moléculaires (MBE), l'épitaxie en phase vapeur aux organométalliques (MOVPE), le dépôt en phase vapeur CVD) à basse pression ou sous ultra-vide (UHV-CVD), le dépôt par ablation laser (PLD) et le dopage par fusion laser sous immersion gazeuse (GILD).
- PANAM : Plateforme d'ANalyse des Matériaux. La plateforme PANAM héberge des équipements et des savoir-faire en analyse structurale et chimique. Les ressources utilisées sont la diffraction des rayons X, la microscopie électronique à transmission avancée, la microanalyse et la microscopie à force atomique.
Domaines scientifiques :Sciences & Technologies
Physique de la matière condensée
Thématique et/ou mots clés :
- silicium pour la nanophotonique
- spintronique
- dispositifs optoélectroniques
- microsystèmes
- nanophotonique III-V
- nano-électronique quantique
- dispositifs optoélectroniques
- microfluidique
Type de données :
Communauté d'utilisateurs : Communautés académiques, industriels Usagers et bénéficiaires :
Conditions d'usage : Demande sur e site de RENATECH (page dépôt de projet - la demande sera adressée à l'ensemble du réseau national), ou contacter directement la Centrale de Technologie du C2N par e-mail à renatech@c2n.upsaclay.fr
Conditions tarifaires :
Certification/Label :
Conditions générales d'utilisation :
Structure | Services proposés |
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