CMNF

  CMNF

Type de service	Plateforme d'acquisition
Statut	En production
Nom développé	Centrale de Micro Nano Fabrication
Autres noms	Plateforme Centrale de Micro Nano Fabrication
URL	https://www.iemn.fr/les plateformes/cmnf
Contact	bertrand.grimbert@univ-lille.fr
Localisation	Villeneuve d'Ascq
Structure d'appartenance	IEMN, RENATECH+
Tutelles	CNRS, Université de Lille, Université Polytechnique Hauts-de-France, Centrale Lille, JUNIA

Cycle de vie des données

Ce service intervient au cours des stades du cycle de vie suivants :

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La plate-forme Centrale de Micro Nano Fabrication, CMNF, s’étend sur 1600m² de salle blanche certifiés ISO6 et 260m² supplémentaires dédiés au back-end. La centrale dispose d’une large palette d’équipements allant des basiques de l’industrie du semi-conducteur aux équipements de pointe en micro-nanofabrication. La salle blanche de l’IEMN constitue une plate-forme multidisciplinaire pour la fabrication de composants et systèmes avancés dans des domaines variés tels que les bioMEMs, la photonique ou l’acoustique.

La mission principale de la CMNF est d’être le support technologique des équipes de recherche de l’Institut. De plus, les projets extérieurs à l’IEMN peuvent être pris en charge via une cellule d’accueil projets grâce au réseau RENATECH (réseau national des grandes centrales en micro-nanofabrication) dont l’IEMN est membre actif. Dans le cadre de celui-ci, elle fait également partie du PEPR d’accélération pour l’électronique au côté des plateformes LAAS, Femto-ST, LTM et C2N.

Domaines scientifiques :Sciences & Technologies

PE3 Physique de la matière condensée; PE7 Ingénierie des systèmes et de la communication

Thématique et/ou mots clés :

• Micros et nanotechnologies
• Electronique III-V
• Electronique souple
• Nanocaractérisation
• MEMS-NEMS

Type de données :

Périmètre de communauté : thématique

Communauté d'utilisateurs : Equipe de recherche de Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, IEMN; Projets extérieurs

Usagers et bénéficiaires :Chercheurs

Conditions d'usage : La plupart des équipements de la centrale est accessible à tous les utilisateurs sur habilitation. Seuls certains équipements très sensibles sont en accès restreint, du fait d’un maniement complexe ou des risques associés.

Conditions tarifaires :

Certification/Label :

Conditions générales d'utilisation :

Services proposés par la structure d'appartenance

Structure	Services proposés
IEMN	CMNF
RENATECH+	MIMENTO LAAS-CNRS Centrale de Micro et Nanotechnologies CMNF PTA C2N Centrale de Micro et Nanotechnologie

Programmes et Équipements Prioritaires de Recherche