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|NomStructureAlternatif=Institut Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique – Sciences et Technologies, UMR 6174 | |NomStructureAlternatif=Institut Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique – Sciences et Technologies, UMR 6174 | ||
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|SousDisciplineVie&Sante=LS9 Biotechnologie et ingénierie des biosystèmes | |SousDisciplineVie&Sante=LS9 Biotechnologie et ingénierie des biosystèmes | ||
|Thematique=Micro et nano-acoustique, Micro-nano-optique, Microrobotique, Sillicium, MOEMS | |Thematique=Micro et nano-acoustique, Micro-nano-optique, Microrobotique, Sillicium, MOEMS | ||
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