]> 2026-04-28T00:59:42+02:00 CMNF 0 fr Chercheurs Equipe de recherche de Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, IEMN; Projets extérieurs La plupart des équipements de la centrale est accessible à tous les utilisateurs sur habilitation. Seuls certains équipements très sensibles sont en accès restreint, du fait d’un maniement complexe ou des risques associés. 50.60393,3.13797 La '''plate-forme Centrale de Micro Nano Fabrication, CMNF''', s’étend sur 1600m² de salle blanche certifiés ISO6 et 260m² supplémentaires dédiés au back-end. La centrale dispose d’une large palette d’équipements allant des basiques de l’'''industrie du semi-conducteur aux équipements de pointe en micro-nanofabrication'''. La salle blanche de l’'''[[IEMN]]''' constitue une plate-forme multidisciplinaire pour la fabrication de composants et systèmes avancés dans des domaines variés tels que les bioMEMs, la photonique ou l’acoustique. La mission principale de la CMNF est d’être le support technologique des équipes de recherche de l’Institut. De plus, les projets extérieurs à l’IEMN peuvent être pris en charge via une cellule d’accueil projets grâce au réseau [[RENATECH]] (réseau national des grandes centrales en micro-nanofabrication) dont l’IEMN est membre actif. Dans le cadre de celui-ci, elle fait également partie du '''PEPR d’accélération pour l’électronique''' au côté des plateformes LAAS, Femto-ST, LTM et C2N. Villeneuve d'Ascq bertrand.grimbert@univ-lille.fr CMNF Centrale de Micro Nano Fabrication, Plateforme Centrale de Micro Nano Fabrication Plateforme Centrale de Micro Nano Fabrication Centrale de Micro Nano Fabrication thematique esr national En production Micros et nanotechnologies Nanocaractérisation MEMS-NEMS Electronique III-V Electronique souple true false 2021-02-05T14:05:44Z 2459251.0873148 2026-03-25T12:30:19Z 2461125.0210532 CMNF 0 0 leaflet 1 [[:CMNF]] CMNF# QUERY16481b2c1d1e62a498c7e97dd87af03f 0 1 broadtable 2 [[-A pour structure::CMNF]] CMNF# QUERYd32b47b144ef96a8239cbc4569279594